Physics of Submicron Devices

هدف این کتاب بسیار است. اول، باید اشاره کنیم که این کتاب یک دستگاه نیست، زیرا پردازش مناسب طیف وسیعی از دستگاه‌های مهم حتی بدون پرداختن به فیزیک مهم دستگاه‌های زیر میکرونی، به حجم بسیار بیشتری نیاز دارد. در عوض، این کتاب اصولاً برای جمع‌آوری و ارائه در یک مکان واحد نوشته شده است، و در یک درمان (امیدوارم) یکنواخت، بسیاری از درک فیزیک مربوطه برای دستگاه‌های زیر میکرون. در واقع، درک و فهمی که ما می‌خواهیم از طریق این کار منتقل کنیم، مدتی است که در ادبیات وجود داشته است، اما به طور کامل مورد توجه کسانی قرار نگرفته است که کارشان ساخت دستگاه‌های زیر میکرون است. لازم به ذکر است که بسیاری از فیزیک های مهمی که در اینجا مورد بحث قرار می گیرند ممکن است به راحتی در دستگاه هایی در سطح 1.0-JLm یافت نشوند، اما در سطح O.I-JLm غالب هستند. محدوده بین این دو به سرعت پوشش داده می شود زیرا فناوری از 256 هزار رم به تراشه های رم 16 میلیونی می رود.

The purposes of this book are many. First, we must point out that it is not a device book, as a proper treatment of the range of important devices would require a much larger volume even without treating the important physics for submicron devices. Rather, the book is written principally to pull together and present in a single place, and in a (hopefully) uniform treatment, much of the understanding on relevant physics for submicron devices. Indeed, the understand­ ing that we are trying to convey through this work has existed in the literature for quite some time, but has not been brought to the full attention of those whose business is the making of submicron devices. It should be remarked that much of the important physics that is discussed here may not be found readily in devices at the 1.0-JLm level, but will be found to be dominant at the O.I-JLm level. The range between these two is rapidly being covered as technology moves from the 256K RAM to the 16M RAM chips.