Mikrosystemtechnik auf Silizium

فناوری میکروسیستم ها بر اساس فناوری CMOS در زیر حوزه های میکروالکترونیک، اپتیک یکپارچه و میکرومکانیک مورد بحث قرار می گیرد. پس از مقدمه‌ای بر مبانی تکنولوژیکی سه رشته قبلی مجزا، روش‌های مختلفی برای ادغام یکپارچه اجزای سیستم بر روی یک تراشه سیلیکونی ارائه می‌شود. توجه ویژه ای به تولید موجبرهای نوری روی بسترهای سیلیکونی و بهینه سازی رابط های بین اپتیک یکپارچه و میکرومکانیک برای میکروالکترونیک می شود. یک ارزیابی مقایسه ای از تکنیک های ارائه شده برای یکپارچه سازی سیستم بر اساس نمونه های واقعی ساخته شده انجام می شود، که در آن جنبه های تولید صنعتی نیز در نظر گرفته می شود. عملکرد فناوری میکروسیستم ها بر روی سیلیکون با استفاده از یک سنسور فشار میکرومکانیکی یکپارچه یکپارچه با فناوری بازخوانی تداخل سنجی و پردازش سیگنال CMOS آنالوگ / دیجیتال نشان داده شده است. این کتاب بینشی در مورد رشته های مختلف فناوری سیلیکون ارائه می دهد. این برای دانشجویان و مهندسان در زمینه‌های میکروالکترونیک، فناوری میکروسیستم و مکاترونیک است.

Die Mikrosystemtechnik wird auf der Basis der CMOS-Technologie aufbauend in ihren Teilgebieten Mikroelektronik, Integrierte Optik und Mikromechanik diskutiert. Nach einer Einführung in die technologischen Grundlagen der drei bislang getrennten Disziplinen werden verschiedene Wege zur monolithischen Integration der einzelnen Systemkomponenten auf einem Siliziumchip vorgestellt. Besondere Aufmerksamkeit wird dabei der Herstellung von Lichtwellenleitern auf Siliziumsubstrat und der Optimierung der Schnittstellen der Integrierten Optik und der Mikromechanik zur Mikroelektronik gewidmet. Anhand real gefertigter Muster erfolgt eine vergleichende Bewertung der vorgestellten Techniken zur Systemintegration, wobei auch Aspekte der industriellen Herstellung beachtet werden. Die Leistungsfähigkeit der Mikrosystemtechnik auf Silizium wird anhand eines monolithisch integrierten mikromechanischen Drucksensors mit interferometrischer Auslesetechnik und analoger/digitaler CMOS-Signalverarbeitung verdeutlicht. Das Buch gibt einen Einblick in die verschiedenen Disziplinen der Siliziumtechnologie. Es wendet sich an Studenten und Ingenieure der Fachrichtungen Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Mechatronik.