Energy-Filtering Transmission Electron Microscopy

میکروسکوپ الکترونی عبوری با فیلتر انرژی (EFTEM) خلاصه‌ای از اپتیک الکترون، برهمکنش‌های الکترون-نمونه، و عملکرد و حالت‌های کنتراست این میدان جدید میکروسکوپ الکترونی تحلیلی را ارائه می‌دهد. اپتیک الکترونی لنزهای فیلتر و پیشرفت در اصلاح انحرافات به تفصیل مورد بحث قرار گرفته است. ارزیابی دانش کنونی ما از تلفات پلاسمون و یونیزاسیون پوسته داخلی برای کاربرد کمی EFTEM در مواد و علوم زیستی مورد توجه فزاینده‌ای است. این را می توان نه تنها با فیلتر کردن الکترون های پراکنده الاستیک، بلکه عمدتاً با تصویربرداری و تجزیه و تحلیل با الکترون های پراکنده غیرالاستیک در تلفات انرژی مختلف تا 2000 eV درک کرد. نقطه قوت EFTEM ترکیبی از حالت‌های طیف‌سنجی از دست دادن انرژی الکترون (EELS)، تصویربرداری طیف‌سنجی الکترونی (ESI) و پراش (ESD) و میکروسکوپ الکترونی بازتابی فیلترکننده انرژی (REM) در یک دستگاه است.

Energy-Filtering Transmission Electron Microscopy (EFTEM) presents a summary of the electron optics, the electron-specimen interactions, and the operation and contrast modes of this new field of analytical electron microscopy. The electron optics of filter lenses and the progress in the correction of aberrations are discussed in detail. An evaluation of our present knowledge of plasmon losses and inner-shell ionisations is of increasing interest for a quantitative application of EFTEM in materials and life sciences. This can be realized not only by filtering the elastically scattered electrons but mainly by imaging and analyzing with inelastically scattered electrons at different energy losses up to 2000 eV. The strength of EFTEM is the combination of the modes of electron energy-loss spectroscopy (EELS), Electron Spectroscopic Imaging (ESI) and Diffraction (ESD) and of energy filtering Reflection Electron Microscopy (REM) in one instrument.